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常用的洁净室气流如何分布


洁净室通常有两者气流分布方式: 稀释送风和置换送风。

采用稀释送风分配方式时,洁净室空气由过滤器排出不停地与送风混合,以实现洁净室内部一致的空气温度和湿度。仅从微粒而言,该稀释动作也能将清洁度略低的洁净室空气与清洁过滤后的送风混合。但清洁已分级洁净室不要用上送上回的气流方式。

由于上送上回的气流方式在工程上有着系统简单、可降低工程造价的优点,对于不散发粉尘的、非无菌产品的低级别的洁净区,还是可以考虑采用的。

在配备了高效送风口(一般是覆盖在终端高效过滤器正面的多孔面板)的条件下,稀释送风分配方式较高可适用于 B 级的洁净分级区域(ISO7 级)。

如采用置换送风分配设计(例如 A 级区域),则按单一方向流动的、清洁的、经终端高效过滤器过滤过的空气,可置换掉洁净室内的悬浮粒子。该设计要求高效过滤器的作用范围能连续覆盖整个天花板,并配备有尺寸规格正确的低位回风或排风口。级别较低的洁净室 (B 级)可配备多个天花板送风口,其覆盖率小于 百分之一百以下即可形成向下流动的空气流模 式(塞状流)。

A 级区域必须采用置换送风的单向流方式,工艺废气的吸风点应尽量靠近其释放源,利用安装在终端高效过滤器正面扩散板的送风,可改善洁净室的气流模式,但可能会降低均匀混合度和悬浮粒子的稀释水平。

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